保证高度的真空除需要炉子的可靠的气密性及真空管道以外,还需要有合适的真空泵设备。
对真空泵的要求是根据进行还原周期的条件而提出的。炉内装加压块及炉子关闭以后,必须抽出炉膛内的空气。然后,随着装料的加热,从压块中析出吸入的和化合的气体(水蒸汽及二氧化碳)。这些气体在较高温度下析出时,即使为量不多,也能大大地提高炉压,而破坏真空过程。此外,二氧化碳与水蒸汽窜入较热的地区时,克与矽以及析出的水蒸气发生作用。所以必须保证迅速而充分地抽出析出的气体。
因此,真空泵应完成下列任务:首先,应保证周期开始时在正常压力下大量气体的抽出;其次,是在整个操作周期内在低压下保持相当大的气体抽出速度。