在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
空压机的储气罐进口出口接反会怎样？空压机储气罐是连接在空气压缩机后面，起到排水、除油、稳压作用的压力容器设备。储气罐的罐体上有几个口...
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一台高压空压机是由多个零部件组成的，每一个零部件都有属于它的“使命”，下面武汉空压机简单的讲述一下高压空压机的几个重要部件名称： 压缩...
由于冶金、化工行业的迅速发展，空分设备的订货量非常大。更多的新技术在空分设备中的应用，使客户面对较多种选择，如何选择适合自己的空分设...
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1.永磁变频空压机进气空滤芯的维护与保养 空气滤清器是滤除空气尘埃污物的部件，过滤后的干净空气进入螺杆转子压缩腔压缩。因螺杆机内部间隙...
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选择空压机的基本原则是经济性、可靠性与安全性。压力越高，耗电越大。须考虑配管管径大小及长度所造成之压力降，加上使用压力既为更下限之压...
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前面武汉空压机小编分析过无热再生干燥机两罐不切换的原因，下面就来总结分享下无热再生干燥机两罐不切换解决方法如下： 1.按电气控制部分说...
