在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
空压机的冷却方法：压缩后空气温度很高，当冷却来时，将不可避免地在空气管道上产生大量的凝结水，除去它们有效方法是在压缩后立即将空气送入...
预冷器在冷干机里的主要作用是“回收”被蒸发器冷却后的压缩空气所携带的冷量（对绝大多数压缩机用户来讲这部分冷量属“废冷”），并用这部分冷量...
现在市面上中压空压机吸附式干燥机一般有二种无热吸附式干燥机和微热吸附式干燥机，下面武汉空压机简单的描述下中压空压机吸附式干燥机各自的...
普通表面或多孔材料对气体的物理吸附或吸收可用来获得高真空。可以在任一压强下利用吸附或吸收技术，但由于实际上的限制，它只作为某种特殊...
“方舱医院里面不允许吸烟。这里人员密集、可燃物质多，还有许多吸氧装置，一旦发生火灾，后果不堪设想。”2月20日，武汉市江汉区消防救援大队...
离心空压机广泛应用于众多的工况企业中，是企业的关键设备，在企业生产中占有重要地位。离心压缩机的安全运转能够促进企业的安全生产，对企业...
空压机厂家工作人员解析未来空压机主要立足于三个方面： 新型空压机的节能性是进入市场的重要因素，绿色影响力主要是让空压机企业认识到...
理想的真空是不存在的，我们所指的真空实际上只是低于一个标准大气压的气体状态，即所谓稀薄的气体。真空度就是用来度量气体稀薄程度的一个标...
空压机冷干机使用注意事项： 1、不要放在日晒、雨淋、风吹或相对湿度大于85%的场所。不要放置在灰尘多、有腐蚀性或可燃性气体的环境中。不要...
武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法： 螺杆空压机漏油的主要原因与解决方法： 1、空压机漏油，要注意观察油封部位，检...
真正要了解空压机的能源使用效率状况，效率分析是很重要的。效率分析是有些空压机工作者们的常用工具，但这些年，人们对此似乎已经淡漠了。那...
设计高真空系统的基本考虑之一是将容器抽到给定压强所需的时间。这个时间范围通常是从几分钟到几个小时。然而，在某些情况下，所需的抽气时间...
