在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
武汉空压机机组一直处于热备状态,当系统的供气压力低于武汉空压机机组的设定值时机组才会启动,是一种电机过载故障。在一般的情况下我们...
移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负...
想知道目前螺杆空压机的市场有两大类别的空压机余热回收工作流程吗?利用技术是在不改变空压机原有工作状态的前提下合理利用空压机余热,通过...
激光是一种光,与其他自然光一样,是由原子(分子或离子等)跃迁产生的。 但它与普通光不同是激光仅在更初极短的时间内依赖于自发辐射,此后的...
变频空压机排气温度过高一般是油冷却器和水冷却器温度过高引起的,也有可能是传感器失灵等原因。变频空压机在使用一段时间后,可能会出现排气...
根据气体运动论,当容器内气体温度恒定时,有PV=常数将上式对时间微分,并在泵以不变的体积速度S = dV/dt对容器抽空的条件下积分,这时,如...
空压机对冷却系统的5大要求: 1.空压机对冷却系统的要求,因螺杆式压缩机本身振动很小,压缩机只需安装在质地较硬,表面平坦的水平地面上。若...
武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司怎么样?武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司成立于2013年03月12日,注册地位于洪山区珞狮南路南湖雅园B区6号...
螺杆空压机轴承损坏的原因有哪些 一、安装不当 1、安装时使用蛮力,用锤子直接敲击轴承对轴承伤害大,是造成变形的主要原因。 2、安装不到位...
螺杆式空压机成为当年空气压缩机发展的新主流,具有优越而且可靠的性能,其振动小.噪音低.效率高无易损件,与同等排气压力下的活塞式压缩机相...
变频螺杆式空压机主要电机、变频器控制面板、油过滤器、油气分离器、空气过滤器、进气阀、主机等。主机:世界螺杆机、高效率、低转速,... 变...
现在市面上中压空压机吸附式干燥机一般有二种无热吸附式干燥机和微热吸附式干燥机,下面武汉空压机简单的描述下中压空压机吸附式干燥机各自的...
真空泵的抽气速率是指单位时间排出气体的体积.常用单位为升·秒(L·S) 1、名义抽速 名义抽速是旋片泵出厂的标牌抽速。按国家标准.旋...