在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
真空系统是由真空容器、真空泵、真空阀、真空表、真空密封、冷凝器及管道等按一定要求组合而成。 (一)真空系统的基本要求 (1)根据冷冻干燥物...
真空气相干燥设备中的真空系统包括主真空系统和泄漏泵系统两部分。 ①系统构成主真空系统的构成如图1所示、主要由主泵(罗茨真空泵)、前级泵(旋...
制氮机专用空气加热器具有怎么样的特点？我们都知道变压吸附制氮机包括成对的并行连接的吸附塔、进气总阀、吸附塔进气阀、产品氮气出口总阀、...
普通表面或多孔材料对气体的物理吸附或吸收可用来获得高真空。可以在任一压强下利用吸附或吸收技术，但由于实际上的限制，它只作为某种特殊...
加装变频器的螺杆空压机的电气控制可分为两个系统：一个为内部控制系统；另一个为启动盘部分。启动盘乃是由一般电机常用的Y-△启动控制。而控...
空压机机头也称为转子，是压缩机的核心配件，为了更换的保护好设备以及延长空压机主机大修的时，能够定期的对机头进行清洗是非常有必要的。因...
空压机是不少企业主要的机械动力设备之一，保持空压机安全操作是非常必要的。严格执行空压机操作规程，不仅有助于延长空压机的使用寿命，而且...
鑫磊超能压缩机(武汉)有限公司怎么样？鑫磊超能压缩机(武汉)有限公司成立于2017年03月22日，注册地位于武汉市东西湖区湖北现代五金机电城2栋1...
武汉气体压缩机有限责任公司怎么样？武汉气体压缩机有限责任公司成立于1991年07月09日，注册地位于武昌区和平大道523号，法人代表为杨晓功。...
武汉奇人压缩机维修服务有限公司怎么样？武汉奇人压缩机维修服务有限公司成立于2009年09月14日，注册地位于武汉市汉阳区汉阳大道365号，法人...
在武汉买空压机哪个品牌比较好？看要什么价位的，国外空压机品牌就是阿特拉斯、英格索兰。这两个也是市场占有率更高的。其次就是寿力、神钢等...
螺杆空压机产生的压缩空气是不纯净的。这是因为空气压缩机本身含有润滑油，在进行压缩工作时，必然有部分润滑油混入到压缩空气中去。而且自然...
