在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
一、概述 真空泵是实验室更常用的设备之一，常在对真空度要求较高的场合下使用。真空泵的效能取决于泵的结构及油的好坏(油的蒸气压越低越好)...
活塞式压缩机的优点： 1.适用压力范围广，活塞式压缩机从低压到超高压都适用，目前工业上使用的高工作压力近350mpa，实验室中使用的压力则更...
干燥机如何合理保养以提升生产效率，通过哪些操作上的改进，尤其是每天进行的项目。方式上的优化，省去一些错误带来的损失。执行过程中，很多...
空气压缩机购置后，不能随便找个位置安装就行，选择良好的安装场所是正确使用空气压缩机的先决条件，缺少事前规划往往千成压缩机使用不当等严...
武汉冰阳压缩机有限公司怎么样？武汉冰阳压缩机有限公司成立于2013年07月29日，注册地位于孝感市孝南区三汊工业园纵8路1号，法人代表为张亚明...
在中高压空压机运行的过程中，零件与零件之间会有剧烈的摩擦，这会使得机器的老化速度加剧，润滑油的使用在一定程度上缓解了这个问题，除此之...
近几年，压缩机市场风云变幻，云谲风诡，但深究之下，隐于其后的除了企业战略之外，更重要的是各家企业正以加速度发展技术。 作为压缩机行业...
武汉1立方空压机价格大约需要多少钱？活塞式空压机低档的2500-3000，中档的4000元左右，高档的6500元左右。螺杆空压机价格也相差很大，6000-4...
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在空气压缩机的使用过程中，注意对空气压缩机的清洁、保养是很重要的，不过有很多的人说过不知道要如何进行保养？不知道如何保养空气压缩机是...
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在现代工业生产中，压缩空气被越来越广泛的应用，并且对提高生产效率和产品质量，提高生产操作的自动化程度和工作可靠性等方面，正起着越来越...
水环真空泵与压缩机就其本身结构来说是完全一样的.其区别仅在于用途的不同。 (1)真空泵是使与泵的进口相连接的装置或系统造成一定的真空，被...
